在超声加工中，工具在纵向和横向都会磨损，工具端面的磨损是主要的，侧面的磨损仅 占全部磨损的1/10。这样不仅直接影响加工速度和加工精度，而且会破坏振动系统的共振条件，降低加工效率。工具磨损量的大小主要取决于工具材料、结构和工件材料（见表2-2）。

试验表明，加工一般硬脆材料，多用45钢或碳素工具钢作工具材料，因为这些材料具有抗疲劳强度高、比较耐磨损、加工容易的特点。如果要求加工精度较高时，采用硬质合金或淬火钢较好， 必要时可采用金刚石表面镀覆工具。