超声雕刻加工时，成型雕刻工具与工件间加入液体和磨料混合的悬浮液，并使雕刻工具以一定的压力压在工件上，工具端面作超声振动，迫使液体中悬浮的磨粒以很大的速度和加速度不断地撞击、抛磨工件的被加工表面。

磨料悬浮液循环流动，使磨粒不断更新，并带走被加工工件上粉碎下来的材料微粒，随着雕刻工具逐渐进入到被加工工件材料中，雕刻工具的形状便被复制到工件上。